微观结构:铟靶晶粒尺寸一般需维持在 10-50 微米区间,密度高于 7.31g/cm³,热导率保持在 81.8W/(m・K) 以上,这些技术参数直接决定了其在真空溅射过程中的沉积效率和薄膜质量。
热等静压(HIP)工艺:在高温和高压环境下进行烧结,能够显著提高材料的致密度,减少材料中的孔隙,改善材料的微观结构,使得 ITO 靶材具有更高的电导率和机械强度,但该工艺成本较为昂贵。
纯度分级:
4N 精铟:纯度≥99.99%,主要用于普通电子元器件及靶材原料。
5N-6N 精铟:纯度≥99.999%-99.9999%,用于高端半导体、光电材料等领域。
半导体与电子工业(占比约 25%):
焊料与封装:利用铟的低熔点和延展性,作为半导体芯片的焊接材料(如倒装焊、热沉连接),可适应精密器件的高温稳定性需求。
化合物半导体:与镓、砷等元素合成 InGaAs、InP 等化合物,用于 5G 芯片、激光器、探测器(如红外成像器件)。